半导体工艺难题!1,现在先进集成电路光刻工艺中曝光光源的波长为193nm或157nm,根据现代光学理论,曝光光刻胶的分辨率大约等于波长.然而,现在,在45nm器件工艺中,使用的曝光光源仍然是193nm光源

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/04/28 16:52:20

半导体工艺难题!1,现在先进集成电路光刻工艺中曝光光源的波长为193nm或157nm,根据现代光学理论,曝光光刻胶的分辨率大约等于波长.然而,现在,在45nm器件工艺中,使用的曝光光源仍然是193nm光源
半导体工艺难题!
1,现在先进集成电路光刻工艺中曝光光源的波长为193nm或157nm,根据现代光学理论,曝光光刻胶的分辨率大约等于波长.然而,现在,在45nm器件工艺中,使用的曝光光源仍然是193nm光源,请详细回答（可以附加图形）,在此工艺中使用了什么特殊技术成功解决了用193nm光源曝光45nm器件的难题（写出,波长和分辨率之间的关系式）.
3,从栅极形成工艺的历史来看,由最初集成电路的金属栅极到后来的多晶硅栅极再到现在最先进集成电路的金属栅极,形成了一个 “循环”.请详细阐述这个循环中各个阶段的工艺原理、不同、进步和原因.
请详细叙述（用图和语言）图所示立体电容的形成工艺过程。

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桂二沦落人凌晨前来围观

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你是深大的吧，南科大发来贺电

桂二102……赞赞

1.根据Δθ=1.22λ／n'D' 可知，若光源波长的出射光孔是一定的即D'是一定的话，可以调整在曝光光刻胶上加一块193nm的光可透过的物质，来提高分辨率，得到45nm左右的光刻。请教啊！
2.不了解，还在学习中！

半导体工艺难题!1,现在先进集成电路光刻工艺中曝光光源的波长为193nm或157nm,根据现代光学理论,曝光光刻胶的分辨率大约等于波长.然而,现在,在45nm器件工艺中,使用的曝光光源仍然是193nm光源打印机的光刻工艺集成电路工艺主要分为哪几类每一类包括哪些主要工艺,简述各工艺的主要作用,简述光刻的工艺过程半导体光刻中的pitch是什么意思半导体模块是不是集成电路? 半导体集成电路是什么东西? 《电子工程物理》与《半导体物理》,《半导体器件物理》,《集成电路工艺》关系哪些半导体公司用ASML光刻机集成电路衬底为什么用半导体在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思简述光刻的工艺过程（步骤）现在最先进的服装印花工艺是什么? 污水生物处理现在比较先进的工艺是什么为什么集成电路厂房内光刻区域的照明灯光与其他工艺区域不同?对超净室中的洁净程度是如何定义和分级的?mos器件的缩小比例为什么是0. 集成电路封装工艺的基本原理什么是半导体工艺集成电路与半导体的科学背景是啥啊? 半导体分立器件和集成电路什么区别