为什么要在真空下镀膜

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/05 21:06:00
为什么要在真空下镀膜

为什么要在真空下镀膜
为什么要在真空下镀膜

为什么要在真空下镀膜
满意答案热心问友2011-04-19所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺.在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞,减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等）,以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量,从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力.通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合,则要求压力更低

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